掃描電鏡采用了先進(jìn)的控制技術(shù)
掃描電鏡適用于對(duì)低頻振動(dòng)較為靈敏的儀器，例如建筑物和樓層振動(dòng)、光學(xué)平臺(tái)晃動(dòng)帶來的低頻振動(dòng)，使用隔震平臺(tái)，可使其降至傳統(tǒng)隔離設(shè)備如氣墊隔振所未能 達(dá)到的水平，從而使得對(duì)這些振動(dòng)較為敏感的儀器或設(shè)備以穩(wěn)定的狀態(tài)運(yùn)行。
掃描電鏡優(yōu)異的隔振效果使其應(yīng)用范圍廣泛，適用于所有需要進(jìn)行隔振的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，目前為止，已應(yīng)廣泛用在包括納米技術(shù)、生物科學(xué)、半導(dǎo)體、材料研究、航天器零重力模擬以及音頻等領(lǐng)域。掃描電鏡在高真空的鏡筒中，由電子槍產(chǎn)生的電子束經(jīng)電子會(huì)聚透鏡聚焦成細(xì)束后，在樣品表面逐點(diǎn)進(jìn)行掃描轟擊，產(chǎn)生一系列電子信息( 二次電子 、背反射電子、透射電子、吸收電子等)，由探測器將各種電子信號(hào)接收后經(jīng)電子放大器 放大后輸入由顯像管柵極控制的顯像管。
掃描電鏡對(duì)樣品表面掃描時(shí)，由于樣品不同部位表面的物理、化學(xué)性質(zhì)、表面電位、所含元素成分及凹凸形貌不同，致使電子束激發(fā)出的電子信息各不相同，導(dǎo)致顯像管的電子束強(qiáng)度也隨著不斷變化，在顯像管熒光屏上可以獲得一幅與樣品表面結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的圖像。掃描電鏡根據(jù)探測器接收的電子信號(hào)的不同，可分別獲得樣品的背散射電子圖像、二次電子圖像、吸收電子圖像等。
掃描電鏡分辨率可達(dá)50~100，電子放大倍數(shù)可由十幾倍連續(xù)變化到幾十萬倍，因此可以對(duì)樣品的整個(gè)表面進(jìn)行比較仔細(xì)的觀察。掃描電鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器，主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表 面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序建立起來的，即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。
